Nieuwe microscoop voor controle lithografieproces

Indra Waardenburg

Wetenschappers van het Berkeley National Laboratory willen de meest geavanceerde extreem ultraviolet (EUV) microscoop ter wereld maken.

Doordat de microscoop, met de naam SHARP, gebruik maakt van dezelfde EUV golflengtes als de nieuwste lithografiemachines is hij goed inzetbaar bij de controle op defecten tijdens de productie van chips. De microscoop is sneller en heeft een hogere resolutie dan bestaande apparaten. 

Lees ook

Nieuws brief
* indicates required