Nieuw chipapparaat Twentse spinoff

Henk Klomp

‘Recent kwam Rutte hier nog kijken’, vertelt Arjen Janssens, directeur van SolMates, een van de snelst groeiende startups op het Science Park inTwente.

‘Want we zijn natuurlijk een schoolvoorbeeld van gelukte valorisatie. Vijf jaar na onze start lijkt onze technologie tot industriële standaard uit te gaan groeien in tablet- en smartphonesensoren en printkoppen.’

 

Solmates, een groep natuurkundigen gespecialiseerd in de laserdepositietechniek waarmee de Twentse universiteit kunstkristallen maakt met de grootste controle ter wereld, bouwde in vijf jaar het pasklare fabricage-apparaat Piëzo-flare. Dit apparaat kan een wafer met een piëzo-gevoelig laagje bedekken. ‘Een chipfabrikant zet in de opening aan de voorkant zijn doos met 25 wafers en kan na een paar uur de volledig gecoate wafers er weer uit halen. Het kristal in de coating heeft de kristalstructuur die vooraf aan het apparaat is ingegeven.’

 

Zo kan de chipindustrie de depositietechniek, ontworpen voor fundamenteel nano-onderzoek aan kristallen, nu al tot haar assortiment van fabricagetechnieken rekenen. Bij gepulseerde laserdepositie schiet een laser stukjes composiet compleet kapot, waarbij een plasmawolkje ontstaat dat juist tot aan de wafer reikt. In vacuüm bij hoge temperaturen slaat het ijle plasma als vaste stof op het plaatje neer.

 

De piëzolaagjes op wafer zijn laagjes die onder elektrische spanning bewegen en vervormen. ‘Functionele onderdelen waarbij een spanning een beweging opwekt of omgekeerd, zoals pompjes, versnellingsmeters, printkoppen of beweegbare spiegeltjes maken nu nog gebruik van bulkmaterialen. Met onze piëzocoatings kunnen de onderdelen geïntegreerd worden behandeld bij het lithografisch etsen van chips.’ Grote elektronicabedrijven in Azië, de Verenigde Staten en Japan willen de Piëzo-flare onder andere gaan gebruiken bij de fabricage van printkoppen die niet meer thermisch, maar piëzo-elektrisch geregeld worden, en kleinere sensoren en actuatoren in tablets. ‘Het aantal sensoren en actuatoren in tablets blijft maar groeien, terwijl de tablets steeds dunner moeten’, aldus Janssens.

Lees ook

Nieuws brief
* indicates required